SLRI-TN-2015-06 Sputtering Deposition (for Telescope Mirror Coating) PDF Print E-mail
Monday, 27 November 2017 00:00
Note Number SLRI-TN-2015-06
Title Sputtering Deposition (for Telescope Mirror Coating)
Author(s) สุพรรณ บุญสุยา, สาโรช รุจิรวรรธน์, สุพัฒน์ กลิ่นเขียว, สำเริง ด้วงนิล, เด่นชาย บำรุงเกาะ, ปิยวัฒน์ ปรึกไธสง, พงศ์จักร ธราวรกาญจน์
Date October 2015
Introduction Evaporation คือวิธีการเคลือบฟิล์มบางโดยไอเชิงฟิสิกส์ (Physical Vapor Deposition Process หรือ PVD) ซึ่งในที่นี้เป็นการเคลือบฟิล์มบางอลูมิเนียมลงบนผิวกระจก โดยอาศัยหลักการให้ความร้อนแก่อลูมิเนียมบริสุทธิ์จนเกิดการระเหยกลายเป็นไอภายใต้สภาวะสุญญากาศ (Thermal Evaporation) ซึ่งไอของอลูมิเนียมบริสุทธ์นี้จะเข้าไปเกาะที่ผิวของกระจกเป็นชั้นฟิล์มบางอลูมิเนียมที่มีคุณสมบัติที่ดีในการสะท้อนแสง
Download Link SLRI-TN-2015-06.pdf